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安装
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雷尼绍自动吸附：PH10M、PH10MQ或PH6M
可安装在自动吸附加长杆上
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适合的接口
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可以是：UCC控制器
或：用于未安装UCC控制器的机器的AC3计算机接口卡
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测头属性
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三轴模拟测量 (X, Y, Z)
在XY平面的旋转运动，Z方向有平移
SM25-5：在三个轴XYZ方向均有平面平移
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测量范围
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在X、Y和Z方向为±0.5 mm
SM25-5：±0.3 mm
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超程范围
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在X和Y方向为±2.0 mm
+Z方向为1.7 mm
–Z方向为1.2 mm
SM25-5：
±X, ±Y = 0.95 mm
+Z = 1.0 mm
-Z = 1.1 mm
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碰撞保护
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X, Y, –Z — 模块或测针架折断
+Z — 内置缓冲块设计
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分辨率
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使用UCC2子卡或AC3接口卡时< 0.1 μm
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弹簧刚性
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标称值为0.2 N/mm到0.6 N/mm，取决于测针长度
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减振
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单个粘性流体减振器
SM25-5：两个粘性流体减振器
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电源
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测头为+12 V (±5%)、–12 V (+10% / –8%)、+5 V (+10% / –13%) 直流电
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输出 (X,Y,Z)
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非线性及非正交模拟输出 — 速率、增益和分辨率不固定
SP25M要求使用非线性三次多项式标定。
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测针系列
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M3
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