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MCV-5003
更新日期:2020年5月7日  浏览次数:次  


上一组:MCV-5000
下一组:MCV-5004

 

 

1. MCV-5003激光多普勒干涉仪 MCV-5002激光多普勒干涉仪加上RT-100A自动测量转台而组成MCV-5003激光多普勒干涉仪。 2. MCV-5003主要测量功能 1) 直线位移测量 2) 大型龙门式机床主动轴从动轴直线位移同步测量功能 3) 分轴步进对角线测量。 4)角偏测量 5)直线度测量 6)第四轴、第五轴回转精度测量 7)两导轨平行度测量

功能选型:激光多普勒干涉仪
MCV-5003
激光多普勒干涉仪 独特的双激光头分体设计,专为大型五轴联动机床开发。针对性解决双驱动类、长行程类、五轴联动类检测。涵盖全部激光干涉仪功能,是大型机床研发制造和大型机构科研计量的。适合数控加工,数控车床、线切割、精密运动平台、大型龙门机床。

MCV-5003基本技术参数

激光频率稳定性

±0.05ppm

 

 

氦氖激光管

2

 

 

激光输出功率

1mW

 

 

激光管寿命

40000小时

 

 

空气温度传感器精度

±0.1 

 

 

空气压力传感器精度

±1.1mmHg

 

 

材料温度传感器精度

±0.1 

 

 

环境温度(湿度)

5-38 0-95%)

 

 

电源电压(电源频率)

90-265V50-60Hz

 

线性位移测量

测量距离

≥30m60m,100m可选)

 

 

分辨率

1nm

 

 

精度

±0.5ppm

 

 

速度

5m /

 

主从动轴同步性检测

数据采样速率

1-1000个数/

 

角偏(俯仰角、偏摆角)

测量距离

≥30m60m,100m可选)

 

 

分辨率

0.2

 

 

精度

±0.2%±0.2 

 

 

测量范围

角度:±10 

 

 

速度

4m /

 

直线度测量

测量距离

≥30m60m,100m可选)

 

 

精度

±0.2%±0.01 微米

 

 

测量范围

±1000 微米

 

 

速度

4m /

 

向量法体对角线检测

分辨率

1nm

 

 

精度

±0.5ppm

 

 

测量范围

3m×2m×1m

 

 

速度

4m /

 

 

可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差

 

垂直度检测

SD附件

同上

 

转台测量

转台测量分辨率

0.02

 

 

转台测量精度

1

 

 

测量范围

0-360

 

两导轨平行度检测

距离

≥30m60m,100m可选)

 

分辨率

1nm

 

精度

±1ppm

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